酸性蝕刻自動分析速率影響因素有哪些？

酸性蝕刻自動分析，也叫氯化銅酸性蝕刻系統，通常使用于單面板蝕刻、多層板的內層蝕刻或外層蝕刻上。因這些制程都用干膜或液態感光油墨作為蝕刻阻劑，而這幾種感光材料相對而言均為耐酸不耐堿性的特性，故選用酸性蝕刻。
酸性蝕刻自動分析系統類型簡介
1.三氯化鐵蝕刻液 ﹕
其再生困難，污染嚴重，廢液難處理等而正在被淘汰（Fe3+>50%）。
2.硫酸—雙氧水蝕刻液﹕
由于蝕刻速度較低，其一般用于圖形電鍍、內外層壓膜前處理 （適于薄銅）。
3.氯酸鹽蝕刻液﹕
具有蝕刻速度穩定，溶銅量大，蝕刻液易再生和回收，能減少污染等特點。
氯酸鹽系統簡介
1.酸性蝕刻液的主要成份：HCl（鹽酸）、NaClO3（氯酸鈉）及添加劑
2.目前公司生產的酸性蝕刻液再生劑主要為CC-228，系以低氯酸鈉為主，且加入特殊之添加劑的濃縮蝕刻液，生產作業時，系以低酸當量進行操作，現場無氯氣，并得到較優良的蝕刻因子。
3.CC-228能取代雙氧水應用在大多數氯化銅酸性蝕刻上，免除雙氧水穩定性控制問題，且較雙氧水安全，再搭配自動添加系統，將成為經濟效益和操作安全的氯化銅蝕刻再生系統。
酸性蝕刻自動分析速率影響因素有哪些？
1.溫度：蝕刻速率隨著溫度的升高而增加。
溫度升高時
ORP值會增加。
蝕刻的側蝕量會增加。
HCl揮發量會加大，藥水損耗會增加。
因此要提高蝕刻速率時可以適度提高溫度，但zui高不要超過55℃。
2.比重：當比重小于1.3時，蝕刻速率隨著比重的增大而變大。當比重大于1.3時，蝕刻速率隨著比重的增大而減小。
3.ORP：ORP在500以上蝕刻速率*，580以上則對蝕刻速率影響不大。
4.酸當量：蝕刻液中必須存在一定的酸當量才能夠進行蝕刻液的再生。增加酸當量可以促進蝕刻速率。
0-3N的酸當量時，蝕刻速率的增長和鹽酸的量成正比；
3-5N的酸當量時，增長速率變緩。
增大酸當量可以增大蝕刻速率，但也會增大側蝕；如果想控制側蝕，酸當量不宜過高。